尼得科减速机VRT-064C-5-F3-19DB19

       nidec尼得科减速机VRT-064C-5-F3-19DB19特点:高精度、高刚性、高扭矩、可安装在任何电机上、不漏油、维护方便。


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        nidec尼得科ABLE减速机VRT系列满足对半导体装置、机床等有高精度要求客户的需求。

 

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       在半导体制造的多个工艺环节中,包括刻蚀、镀膜等等。为了提高半导体制造过程的精度和均匀性,半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。而获得真空环境所需的设备即为真空泵。