三协晶圆机器人SR7165-1006维修

 

           NIDEC SANKYO三协晶圆输送机器人的定位传输精度，直接决定着晶圆传输设备整机系统的传输精度。由于零部件构造复杂、精度要求严苛等问题，排查故障的难度也比较大。

 

三协晶圆机器人SR7165-1006维修

 

       半导体机械手主要适应于集成电路、芯片制造等半导体前段工序，用来搬送晶圆。机械手通常应用在磨削、抛光、刻蚀、扩散、沉积、装配、包装和测试等的半导体加工步骤中，用于对半导体晶片进行传输与定位。在半导体设备的机械手中，主要采取负压式吸片的方式取片，即：利用吸盘原理将半导体晶片吸附于石英或陶瓷手指上，并通过机械手臂的伸缩、旋转和升降等的动作搬运半导体晶片。

 

三协晶圆机器人SR7165-1006维修

 

       机器人将硅晶片从盒子或处理室中取出和放入时使用。主要有陶瓷晶圆搬运手臂和金属晶圆搬运手臂。陶瓷材料主要有氧化铝和碳化硅等。

 

三协晶圆机器人SR7165-1006维修

 

三协晶圆机器人SR7165-1006维修

 

三协晶圆机器人SR7165-1006

三协晶圆机器人SR7165-1006结构图