客户的三协双臂晶圆转移机械臂SR8240-1105因故障停机，寄来我司修理，经排查发现，是伺服电机MC401AS 302KNN38出现了故障。更换电机后，即可运行正常。

三协双臂晶圆取放机械臂SR8240-1105优势：

·体积小巧；

·适用于300mm 2~3个端口；

·独立的双末端执行器可同时拾取2个晶圆；

·间距可以与FOUP移动同步，以同时放置2个晶圆。

三协双臂晶圆取放机械臂SR8240-1105参数：

本体重量：60 kg；

清洁度：ISO Class 1；

运动模式：3-link 水平铰接；

运动轴数：5；

工作范围：

  Z轴（mm）：300；

  TH轴（°）：+/-180；

  X轴（mm）：-440 to +440；

  Roll轴（°）：+/-275；

最高速度：

  Z轴（mm/s）：500；

  TH轴（rad/s）：7.82；

  X轴（mm/s）：1692；

  Roll轴（rad/s）：9.24；

  线性运动（mm/s）：1000；

往复精度：

  XY（mm）：+/-0.1；

  Z（mm）：+/-0.1；

晶圆尺寸：200/300；

控制柜：SC5000-STD-0002。

长科智能可以维修如下机器人故障：

Robot手臂Cross Roller异常；

RB Z轴导螺杆异常更换；

RB Z轴刹车异常更换；

RB Z轴导轨滑块异常更换；

三协Robot SERVO AMP版本升级，HWDEF参数内容变更；

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