三协半导体硅片取放机械手0190-52910

 

       收到一套三协半导体硅片取放机械手，本体0190-52910，控制柜0190-46909。

       客户说发生了撞机，没能检查出原因。长科维修师傅经过拆机检查，上电检测，最终锁定异常，原因是三轴电机编码器和控制柜通讯板发生了故障。

 

三协半导体硅片取放机械手0190-52910

 

半导体机器人可参与的工作内容：

1、晶圆粗研磨（双面机械抛光）

半导体机器人将晶圆放置在上下研磨夹具之间，晶圆进行旋转，同时研磨机对研磨夹具内进行磨料送料，进行两面抛光。

 

三协半导体硅片取放机械手0190-52910

 

2、晶圆氧化处理

半导体机器人将晶圆放置在扩散炉中进行热处理，通过高温氧化处理使晶圆表面形成氧化层。

 

三协半导体硅片取放机械手0190-52910

 

3、晶圆清洗

半导体机器人将晶圆放置在清洗台上，用化学药剂和超纯水清洗晶圆，以进行下一步高洁净度、高良率的芯片制造制程。

 

三协半导体硅片取放机械手0190-52910

 

4、晶圆检查

半导体机器人将晶圆放置在晶圆AOI检测器里，对晶片表面进行光学外观检查，检查晶圆的平整度、厚度与氧化膜厚度。

 

三协半导体硅片取放机械手0190-52910

5、晶圆包装

半导体机器人将晶圆进行保护膜覆膜，并将覆膜完成的晶圆被放置在晶圆运输箱中。