三协半导体晶圆机器人SR8232-0002AAQ

 

       这几天,修了一台用于半导体晶圆上下料的Sankyo三协机器人本体SR8232-0002AAQ,以及控制柜SC3100。

 

Sankyo三协半导体晶圆机器人SR8232-0002AAQ

 

Sankyo三协半导体晶圆机器人SR8232-0002AAQ

 

Sankyo三协半导体晶圆机器人SR8232-0002AAQ

 

       半导体AMHS系统的三大核心设备:线边密集库(Stocker)、高速塔式提升机(Tower)、天车搬运系统(OHT),前开式晶圆传送盒(FOUP)的高效平稳运输过程,可帮助半导体晶圆厂实现大规模量产条件下的高效、安全、无尘的全自动搬运和仓储。机械手是半导体设备的重要零部件之一,主要应用于半导体制造的前段工序,用于搬送、运输及定位晶圆。主要分为大气机械手和真空机械手,其中大气机械手市场占比超过60%。