维修Nidec尼得科双臂晶圆机器人SR8220-1017
长科智能的维修师傅对Nidec尼得科双臂晶圆机器人SR8220-1017上机测试时,收到了如下故障提示:
3-3-0:发生了ABS无法信任错误;
5-5:编码器通信错误:编码器通信超时(ENCODER通信错误:ENCODER编码器通信TIMEOUT);
11-77-0:编码器通信接收错误;
3-1-0:编码器通知ABS消失;
4-17-0:电压低下错误(编码器错误)
15-2-0:驱动通信错误;
5-102:主板通信错误:主板参数设定失败。
长科智能的维修师傅对硬件进行排查时,发现尼得科伺服电机MM101N2LBLD磨损严重,和客户猜测的一样。于是采购了一台新的尼得科伺服电机给换上。
Nidec尼得科双臂晶圆机器人SR8220-1017参数:
手臂:双手臂;
自由度:4-AXES
R轴(第1,2轴手臂)动作范围:534 mm;
Z轴动作范围:300 mm/600 mm;
θ轴动作范围:340 deg.;
R轴(第1,2轴手臂)最高速度:5.76rad/sec.;
Z轴最高速度:450mm/sec.;
θ轴最高速度:6.98rad/sec.;
往复精度:+/-0.1 mm;
洁净度:ISO Class 2;
本体重量:80 kg。
控制器:SC5000-STD-1010
示教器:OP5000
Nidec尼得科双臂晶圆机器人SR8220-1017优势:
1、采用2ARM构造,增大了搬运范围;
2、实现晶圆的高速传输和双片同取放;
3、确保了超高的直线精度;
4、ARM和Z轴的各种组合以满足对应各种装置的需求;
5、可同时适用于4-12英寸的晶圆搬送。
尼得科双臂晶圆机器人SR8220-1017可用在半导体设备的前端模块EFEM,EFEM模块设备配备大气晶圆搬运机器人,安装在框架中,框架配备有FFU(风扇过滤器单元)和安装在前面的装载端口,是连接物料搬运系统和硅片处理系统的桥梁,确保晶圆能在高洁净环境下传输到工艺、检测模块。
Nidec尼得科双臂晶圆机器人SR8220-1017维修好后,组装好,准备发货