川崎电机R2AA1020AFCPKG 50601-0156

 

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      川崎晶圆搬运机器人占据了全球晶圆搬运机械人51%以上的市场份额。

 

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      在晶圆切片，晶圆测试、固圆、导线架等工艺时使用二氧化碳雪清洗，可以去除各种污染物。半导体CO2清洗单元使用了川崎机器人与隆深机器人合资的隆崎机器人明星产品SCARA机器人KLS600，配合高精度、高品质核心零部件，保证了设备的稳定运行。可适用于3C、半导体行业，解决了半导体行业消耗品成本高，清洗效率低等问题。