BROOKS 001-4130-03是一款晶圆搬运机械手的控制器，其设计目的是通过高精度的定位和校准技术来确保晶圆的位置及方向准确从而为后续工序提供保障，对准时间可达1秒以内。

BROOKS 001-4130-03晶圆对准控制器可同时控制多个机器人轴，满足复杂运动需求。支持多种编程语言，如梯形图、语句表等，方便用户自定义控制逻辑。

BROOKS 001-4130-03晶圆对准控制器具有以下特点：

高精度：采用高精度伺服电机和编码器，可提供精确的晶圆位置和角度控制，误差范围可达微米级，并且可检查晶圆是否存在缺陷。

高可靠性：采用冗余设计，包括双重电源和双重通信链路，可确保即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作。提供故障自诊断功能，可以监测系统健康状况，并提供故障排除信息，简化维护流程，帮助用户快速发现和解决问题。

易于使用：提供直观的图形化界面和易用的编程工具，可简化操作和维护。支持多种通信协议，包括 Modbus TCP/IP、profinet、Profibus、EtherCAT、CANopen，可轻松连接到现有的控制系统。

Brooks 001-4130-03 可用于各种半导体制造工艺，包括但不限于：

① 晶圆清洗：在晶圆清洗过程中，可用于搬运和定位晶圆，并确保清洗效果均匀；

② 光刻：在光刻过程中，精确对准晶圆和光掩模可确保电路图案在曝光期间正确转移到晶圆上，并确保曝光精度；

③ 蚀刻：在蚀刻过程中，将晶片对准掩模，以便在蚀刻过程中选择性去除材料，并确保刻蚀均匀性；

④ 薄膜沉积：在薄膜沉积过程中，将晶片对准掩模，以控制材料的沉积，并确保沉积均匀性。

⑤ 计量：将晶圆与测量工具对齐，以进行检查和质量控制。

还有晶圆切割、金属化、扩散、离子注入……

Brooks 001-4130-03规格参数：

类型: 晶圆搬运机械手控制器

精度：±5 μm

搬运速度：最高可达 1 m/s

负载能力：5 kg

工作温度：0°C 至 +50°C

防护等级：IP65

通信接口：RS-232、RS-485、EthernetS

尺寸：500 mm x 400 mm x 300 mm

重量：20 kg