安川MOTOMAN大型FPD洁净室玻璃基板搬运机器人NX100/ECS1200DN-L
安川洁净机器人NX100/ECS1200DN-L
重量:700kg
有效载荷:30kg
ECS1200DN-1600
YR-ECS200N-B42
NX100/ECS1200DN-L
ERCR-ECS1200DNL-AA10
SERIAL NO.S16B81-1-1
S16B79-2-M
S16B79-1-1
安川MOTOMAN FPD洁净室玻璃基板搬运机器人可全面对应各代玻璃基板尺寸的高速、高精度、高度柔性动作的需求,大幅度削减配套设备费用。
安川MOTOMAN FPD洁净室玻璃基板搬运机器人主要分为两大系列,既CSL系列和CR系列。CR系列是垂直多关节机器人,进行全姿态动作运动,CSL系列是水平直线及回转运动型机器人,高精度高速度。液晶生产线上往往需要同时用到这两个系列机器人。
安川MOTOMAN FPD洁净室玻璃基板搬运机器人也分为大气环境使用机器人和真空环境使用机器人,大气环境使用的如MCL165、MFL2200D、MFS2500D,真空环境使用如VD10S、VD20D、VD35D、VD40D、VD95D。
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