Nidec Sankyo尼得科三协示教器OP5000维修
半导体晶圆传送设备通常由传送带、引导片和传感器等组成,其中传送带可以将晶圆有效地传送到目的地,引导片可以自动检测晶圆是否适合传送,保证晶圆在传送过程中能够稳定运行,而传感器则可以实时监控物料的位置、速度和数量,确保物料的准确传送。
半导体机械手、半导体机器人,硅片机器人、硅片机械手等,均指半导体晶圆传输机器人。重点用在半导体工艺设备和Foundry厂等,典型应用如蚀刻机、光刻机、薄膜沉积设备(PVD、CVD)、晶圆清洗设备、CMP设备、离子注入机、检测设备(ATE、探针台、分选机)、涂胶显影机、晶圆片键合机、去胶设备和显影设备等。
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