川崎3RS020NJ六轴减速机60215-1154 SHG-20-50-2SH-SP1

 

Kawasaki川崎机器人3RS020NJ JT6轴减速机60215-1154 SHG-20-50-2SH-SP1

减速比： 20：50

产地：日本

 

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       半导体晶圆传输自动化产线高端设备众多，技术壁垒难以打破，包括ATM Robot(大气机械手)、VTM Robot(真空机械手)、VTM(真空腔传送平台)、VCE(真空腔室升降机)、AlignerQ(对准器)、EFEM(晶圆设备前端模块)、Sorter(晶圆分选机)、Loadport(晶圆装载端口)等重要部件。