广州长科智能拥有多年的半导体晶圆传送机器人维修服务的经验，国际主流品牌的半导体机器人基本都维修过，成功案例多不胜数。

 

半导体机器人维修

 

 

        半导体晶圆传送机器人应用场景众多，如：EFEM、Stocker、炉管工艺（氧化）、炉管工艺（扩散）、炉管工艺（退火）、炉管工艺（LPCVD）、薄膜沉积、膜厚测定、湿法清洗、湿法蚀刻、涂胶显影、研磨减薄、离子注入、黄光、晶圆质检……

        各品牌也为每个半导体晶圆生产工艺流程开发了各种型号的机器人，刚好长科智能也维修过众多种型号的机器人。

 

 

        Nidec Sankyo（尼得科三协半导体晶圆机器人）：SR7165、SR7166、SR8220、SR8230、SR8232、SR8240、SR8241、SR8242、SR8250、SR8601、SR8602-0002AAP、SR8602-0002AAR、SR8608、SR8653 Series、0190-52910…… 

        可维修三协机器人故障：示教器故障、编码器通信Rx错误/超时/硬件错误、ErrorCode 4/6/8/253、wafer detect error、11-9-0 IPM错误、Server OFF Error、clamp不受控制、endeffector抖动、ABS无法信任错误、控制箱无回复通信信号、文件丢失、原点丢失、电机卡死、不上电故障、动作延迟……

 

        YASKAWA安川半导体晶圆机器人：XU-RVM4100、XU-RSM53D0、XU-RSM5330、XU-RSM4800、XU-RCM9206、XU-RCM9205、XU-RCM9120、XU-RCM8220、XU-RCM8100、XU-RCM7410、XU-RCM7231、XU-RCM7230、XU-RCM6841、XU-RCM6802、XU-RCM6801、XU-RCM6422、XU-RCM6420、XU-RCM53E0A、XU-RCM53E0、XU-RCM53B0、XU-RCM5301A、XU-RCM5301、XU-RCM5300、XU-RCM5020、XU-RCM4901、XU-RCM4900、XU-RCM4700、XU-RC845M、XU-RC595S、XU-RC400M、XU-RC350S-J01、XU-RC350D-K01、XU-RC350D-J03、XU-RC350D-IC06、XU-RC350D-IB06、XU-RC350D-I01、XU-RC350D-C03、XU-RC350D-B23、XU-CM6180、XU-CM6101、XU-CM5510、XU-CM5500、XU-ACP4860、XU-ACP4801、XU-RC250S-D00、YSBL-CHA、ERCR-NS01-B004-E1、ERCR-NS01-B004、CN1170A、CN1112A、CN0240A、GM124、CM8310、BCD3111、BCD2081D、BCD2011C、MD124D、MR124、MU201D、MU122D……

 

维修BROOKS布鲁克斯半导体晶圆机器人

 

         BROOKS布鲁克斯半导体晶圆机器人：ATR7、ATR8、AQR7、MTR5、MAG6、MAG7、MAG70、MAG74、MAG9、MAG8、MAG leap、VTR5、DBM2406、DBM2407、VAC407、MagnaTran7、Z-BOT、Z-BOT II、Razor 9、ALGA 201/301、LEAP、TBM…… 

         可维修故障：Cannot find node with ID 00021B00-000027F7……

 

         PRI / Equipe半导体晶圆机器人：ABM405-1-NOZ、ABM-205、ABM-407、ATM-105、ATM-107、ATM-204、ATM-205、ATM-1X4、ATM-407、Axm-204、Axm-205、Axm-207、Axm-305、Axm-307、Axm-405、DBM-2405、DBM-2406、DBM-2407、DBM-2407-V2、DBM-2506、DBM-2507、DBM-2607、DBM-2706、RC400M、TSB-2407、WTM-107、WTM-407、WTM-511、XU-RSM0120b、XU-RSM4800r、XU-RSM5300、PRE-300B、PRE-200、PRE-200B、PRE-201、PRE-201B、PRE-300PRE-300B、PRE-300-CG-CE、PRE-301、PRE-301B、ESC-200、ESC-201、ESC-212、ESC-212、BSC-218、ESC-222……

 

维修晶圆传输真空机械手

 

         DAIHEN达谊恒半导体晶圆机器人：SPR101、SPR301、SPR956、SPR955、SPR951、SPR907、SPR906、SPR903、SPR902、SPR8501、SPR812、SPR811S、SPR811、SPR-812-X1942、SPR8101、SPR809、SPR807、SPR806S、SPR806、SPR805、SPR802、SPR1502、UT-AFW3000NM、UT-AFW4000、UT-AFX/W3000NM、UT-AFX/W4000、UT-AFX3000NM、UT-AFX4000、UT-AXW3000NS、UTM-R3700F、UT-VDW3000HS、UT-VDX3000NS、UT-VFX3000NM、UT-VSW3000NS、UTVW-R2800H、UTW-REH5500、UTW-RF5500RW、UTX/W-RF5500RW、UTX-RF5500RW…… 可维修故障：Code=E13-4007

 

          Kawasaki川崎半导体晶圆机器人：NTJ20、NTJ10、TTJ10、TTJ20、NTH20、NS410、NX420、3NX510B、3NX520、3NS411、3NX550、3NX540、3NS511、3NS410、3NS510、TS220 MHU、TS520 BHU、TS310 IHU、NS420…… 

 

维修Line-up晶圆搬运机器人

 

         RORZE半导体晶圆机器人：RR757、RA320、GHR35R-550-S、PC2C428、0743507-000、RA420-6CV-L001、RR732L2732-452-101-X、RR732L2722-372-101-X、RR732L2722-372-101-X、RR721、RR717L1521-3A6-231-2、RR717L1521-3A6-211-1、RR713L1521-3A3-E13-1、RR713L1521-3A3-E01、RR712、RR711L1521-3A3-E11-1、RR701L90-Z20-616、RR701L90-Z20-011、RR701L1211-3A3-111-1、RR701L1211-3A3-111-1、RR701L120-Z20-010、RR701、RR700L90-Z30-010、RR700L150-Z30-010、RR700、RR602、RR304、1RR713、STCR4200SN-300……

 

         Asyst / MECS半导体晶圆机器人：04300系列、12000系列、UTW-F5500M、UTW-5500-028、UTX-1000、UTX-F5000、UTX-F5500、UTX-F5500M-037、UTX-F5001RW-005、UTX-FS5501RW-041、APR800、utc800、UTC801P、UTC1000、UTC820Z、UTW3400、UTW3100P、UTX1000、UTX1010、UTX1100、utv2500v、utwn2010HG、utxn1010hg…… 

 

         axcelis半导体晶圆机器人：4693-0031-0001(In Air Robot_DC)、11G3194(In Air Robot_AC)、Joint #3(Purion)、Trans Robot…… 

 

         TAZMO半导体晶圆机器人：HIL02-053、HS33H1320651-02、TDAIE、MTR-EC1-E、MAF-G、MA-ABP、EFEM、MTQ-EZ2-E、MTQ SERIES、MTP、MTR-DA1-E、MAF-H、TT300A-WA、TT300A-RA……


JEL半导体晶圆传送机器人维修

         SHINKO半导体晶圆机器人：BX80-070938-15 

 

         amat半导体晶圆机器人：HP/HP+、VHP/VHP+、ARM SET 

 

         JEL半导体晶圆机器人：STCR4160S-30、SCR3200CSN、SAL46C6GR、SWHR3156-300-PM、SVHR3258-040-PM、SVHR3163-020-PM、SVHR2258-SM、SVHR2192-SM、SVHR2158-SM、STWHR4156-300-PM、STHR4203-400-PM、STHR4156-300-PM 、STHR4095-200-PM、STHR3100-PM、STCR4200S-400-PM、STCR4160S-200-PM、STCR4130S-300-PM、SHR3203-200-PM、SHR3158S、SHR3130C-200-PM、SHR2173-PM、SHR2130-PM、SCR3160CS-300-PM、MTHR4156CS-300-SM、MTHR4095-450-HM、LVHR3550、LTHR4500L-1700-AM、LTHR4440CS、LTHR4400L、LTHR4394-600-SM、LHR3440S、LHR3400C、LHR3394、KTHR4800L-600-SM、GTHR5281-320-PM、GHR4281-320-PM、GHR4206-320-PM、GHR4180-280-PM、GHR3206-PM、GHR/GTHR/DTVHR、EHR3156-320-PM、DTVHR4275-050-PM、C4410……

 

         kensington半导体晶圆机器人：WH3C、WH4C、WH4D、WFH3C、WFH4D、0190-22249、0190-06909、0190-06910、3NT410B、3NS410B、Multi-link module…… 

 

         Genmark半导体晶圆机器人：GB3、GB4、GB4E、GB4S、GB4P、GB5、GB7、GB7S、GB7SY、GB4PS、GB8……