维修Brooks布鲁克斯晶圆拾取机器人razor
收到客户寄过来的一套Brooks布鲁克斯晶圆拾取机器人razor,客户反映的问题先是不能归零,掉片,后来开不了机。我们马上安排故障排查,我们检查了控制柜978-262-2900、示教器001-1984、电路板S13A-00832和S12H-2187、电池90010-066-G、本体风扇SANYO DENKI San Ace92 9GA0924P4G03、编码器TT1ENR2-1-TVS-ES、002-0016-34,最终确定了故障是硬盘出了问题,导致系统崩了。
Brooks Razor晶圆拾取机器人提供了半导体制造所需的卓越性能、可靠性和超高清洁度。Razor机器人实现了快速设置、高重复性和稳定性。此外,Razor的机器人手臂结构简化且高效,采用两连杆而非传统的三连杆,适用于无轨道的3-FOUP机器人。
Brooks Razor晶圆拾取机器人特点:
① 第五代直驱技术;
② 支持多种晶圆处理技术,包括高通量被动边缘接触技术;
③ 与Equipe和Reliance机器人的兼容性;
④ 用于自定义运动和输入/输出序列的拖放序列编辑器;
⑤ 可选的 kinematic 安装系统,具有一次性的高度和水平调整。
长科智能还维修过如下型号的Brooks Razor晶圆拾取机器人:
MTR 5/VTR 5
MagnaTran 7 SCARA
MagnaTran 7 Frogleg
MagnaTran 7 BiSymmetrik
MagnaTran 7 Leapfrog
MagnaTran 7 Leapfrog(MAG 7 X)
MagnaTran 8 Radius
MagnaTran 8 QuadraFly
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