安川机械手XU-RCM5020

 

        这台安川迷你机械手XU-RCM5020是用于半导体晶圆搬运，投入产线已有多年，现在是机械手启动不了，需要检测故障部件所在。

 

安川机械手XU-RCM5020

 

安川机械手XU-RCM5020

 

安川机械手XU-RCM5020

 

检测电机SCMAH-A3C1A-YB31

 

安川机械手XU-RCM5020

 

       检测轻量组合型谐波减速机CS-11-50-1U-SP

       轻量组合型谐波减速机具有高转矩容量、无齿隙、输入输出同轴、单级同轴可获得1/30～1/320的高减速比。

 

安川机械手XU-RCM5020

 

检测控制器XU-CM5510

安川机械手XU-RCM5020

 

       RV减速器的高精度和高负载能力使其成为精密制造和检测设备的理想选择，如半导体制造设备中的氧化炉、涂胶显影设备、光刻机、刻蚀机、离子注入机等设备。